仪器由主机和控制系统、专用工具、操作软件及附件组成。主要用于化学、材料科学（纳米材料、高分子、聚合物、半导体等）、生命科学以及相关领域的研究工作，对各种材料、化工产品、生物制品、非金属矿及深加工产品等进行观测，并对其表面形貌进行分析。

扫描隧道显微镜功能：恒流模式、恒高模式、I(Z)谱、I(V)谱

原子力显微镜功能：形貌成像、相位成像、磁力显微镜、静电力显微镜、扩展电阻成像、开尔文探针显微镜、力－距离曲线、振幅－距离曲线、I(V)谱

刻蚀功能：力刻蚀、电流刻蚀、矢量刻蚀